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    再繞射式光柵干涉儀用於多自由度位移及角度量測之開發
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 陳泓易 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究提出一套創新的多自由度再繞射式光柵干涉儀,用以同時量測五維度位移及旋轉角度變化量。此套系統是以光柵為技術核心進行開發,同時整合外差干涉術、光柵干涉術、再繞射光路及共面偵測技術等設計之優勢,使系…
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    • 全文公開日期 2024/08/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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